泛半導(dǎo)體光刻機(jī)
| 類(lèi)別 | 項(xiàng)目描述 | KST-DI01-1NLS-T | 備注 |
| 基材 | 基材尺寸（MAX） | 70mm × 245mm | |
| 基材尺寸（MIN） | 62mm × 61mm | ||
| 基材厚度 | 0.05-4mm | ||
| 壓板機(jī)構(gòu) | 針對(duì)客戶(hù)板定制 | ||
| 解析度 L/S | 線(xiàn)寬解析尺寸 | 50um/50um | |
| 線(xiàn)寬解析精度 | ±8um | ||
| 光源景深 | ±300um | ||
| 制程 | 感光材料 | 傳統(tǒng)干膜，濕膜，或 LDI 專(zhuān)用膜； | |
| 曝光能量 | 3300 MW/CM2 或更高 | ||
| 光源頻譜 | 405nm | ||
| 光源總功率 | 20W/每臺(tái) | ||
| 應(yīng)用范圍 | 硅晶板，陶瓷板，銅硅結(jié)合板等 | ||
| 適用工序 | 內(nèi)外層線(xiàn)路；次級(jí)線(xiàn)路； | ||
| 文件輸入形式 | 資料輸入 | Gerber274X；Gerber274D(強(qiáng)烈不推薦此種格式) | |
| 裝機(jī)需求 | 電源供應(yīng) | AC220V-50HZ-3KW（含冰水機(jī)功率） | |
| 純凈水需求 | 15~20L（風(fēng)冷冰水機(jī)） | ||
| 壓縮空氣需求 | 5.5kgf/cm2 | ||
| 單機(jī)設(shè)備重量 | 800kg(參考值， 不同配置重量不同) | ||
| 外形尺寸(參考) | 主體尺寸(W * D * H) 990mm X1275mm X1702mm | ||
| 無(wú)塵環(huán)境溫度 | 22±2°C | ||
| 相對(duì)環(huán)境濕度 | 45~60%（不結(jié)露） | ||
| 無(wú)塵等級(jí) | 10W CLASS 或以上 | ||
| 特殊應(yīng)用 | 圖形漲縮管理 | 固定漲縮；自動(dòng)漲縮； 測(cè)量漲縮； | |
| 掃碼 MARK 功能 | 打印日期；時(shí)間；序號(hào)；漲縮系數(shù)等； | ||
| 系統(tǒng)選項(xiàng) | 漲縮管理 | 局部漲縮；區(qū)域漲縮； | |
| 資料輸入 | ODB++ | ||
| 有孔對(duì)位 | 正面對(duì)位 | ||
| 臺(tái)面系統(tǒng)定制 | 壓板機(jī)構(gòu) | ||
| 激光器 | 48W | ||
| 多區(qū)域曝光 | 無(wú) |
